設計：

車間溫度、濕度、潔凈度指標（參考）

車間潔凈區的溫度為：25℃±2℃，濕度30%~60%，潔凈度超凈為：10萬級。更衣室、風淋間、冷卻間、工件架擦拭、工件架清洗采用10萬級送風，排風采用直排。退火間、冷卻間的溫度應控制在30℃以下，濕度應≤65%。

車間工藝用冷卻循環水使用單獨的制冷設備，工藝冷卻水在往設備供水時應保證供水的水溫在17~21℃。

凈化送風風口以及非凈化送風風口位置要求：凈化區風口與非凈化區風口除PECVD外沒有特殊要求，只要能滿足溫度及濕度的要求即可。PECVD風口要求：送風口不得直吹PECVD沉積室及預熱爐，回風口不得安排在室外，冬季排入泵房內，以保護泵房內的管道及設備。

空調回風過濾要求：空調送風是10萬級的，經過與超凈間內部空氣的接觸，整個回風中會攜帶大量細小粉塵回到空調主風箱中而污染主風箱過濾網，因此在所有的空調回風口都需要安裝過濾網。

排風要求：退火間、冷卻間、工件架擦拭間、工件架清洗間、車間門口換鞋區都應采取單獨排風系統。送風方式采用底側送風，頂部排風的氣流組織設計。同時注意把握排風量的準確性，最好與廠家落實，以便不要排風過大或過小。

各區域設計風量平衡和制冷量時需結合各區域內的工藝設備的排風以及各設備的功率、散熱量。例如：PECVD區域、冷水間、退火區的散熱量很大，換氣次數必須提高；激光掃邊機、清洗機數量多排風總量高，設計時考慮新風補充量。

風管長邊邊長小于等于1250mm的，采用共板法蘭風管制作方式，搞笑送風與風管的連接采用鋁箔保溫金屬軟管連接。

冷水機組的冷凍水進出采用分水器和集水器，PECVD區域考慮冬季需要提供制冷，其他區域需要采用供暖。

施工：

風管制作采用角鋼法蘭風管和共板法蘭風管相結合的制作方式。風管長邊邊長小于等于1250mm的采用共板法蘭風管制作，與高效送風口連接的采用鋁箔保溫金屬軟管連接，從而縮短風管制作及安裝時間。風管總安裝制作人數不低于70人。（工期按60天算）

規格大的風管吊裝時采用兩臺升降機配合安裝，減少吊裝時間；技術夾層內的通風設備采用升降頂板上的作業，保護頂板的強度。技術夾層內水管需要在未吊頂前連接完畢。避免焊渣掉落到頂板上引起安全事故，減少在頂板上的作業保護頂板的強度。

技術夾層的水管打壓試驗需在工藝設備為安裝就為前完成，避免管道漏水滴落到工藝設備上（工藝設備造價高，遇水已損壞）

中天道成將以不斷創新、追求卓越的潔凈技術和用戶第一，質量至上的服務理念和決心，為國內外用戶提供潔凈室及相關受控環境一站式整體解決方案。咨詢熱線：0512-67507365