設(shè)計(jì)：

超凈間個房間照度要求：超潔凈間照度大于等于300lux。

凈化間照明控制要求：

凈分照明可采用本地控制加分片總控，單個開關(guān)控制照明燈小于20盞；

PECVD的照明控制需要離開PECVD沉積室一定的距離（大于8米）；此部分燈具要求耐高溫大于等于120度且不能直接裝在PECVD頂部，應(yīng)設(shè)計(jì)在兩沉積室的中間頂部或前方。

凈化間插座安裝位置、高度要求：

凈化間的每一個柱子上都需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔的和一個三孔插座，高度為離地面75cm；

非凈化區(qū)凈化區(qū)的每根柱子上也需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔的和一個三孔插座，高度為離地面75cm；

照明插座以及動力設(shè)備電源引入位置：照明與插座將共用一路主電源，照明也同樣需要經(jīng)過漏保，電源將從車間配電房引入，動力電也是從車間電房引入，吊頂以上要有維修照明燈和維修插座。

非超凈間的照明要求：

超純水房、空調(diào)房的照度為：150lux；

氣體房的照度為：100lux，氣體房的燈應(yīng)使用防爆燈。

磨邊區(qū)、組件后段的照度：150lux，應(yīng)采用節(jié)能燈（鋁合金光照燈）

工藝設(shè)備用電：

工藝設(shè)備用電依設(shè)備需要確定給設(shè)備配備電纜，設(shè)備電纜在設(shè)計(jì)過程中需要滿足設(shè)備工藝用電的要求，能確保設(shè)備用電安全；

精密設(shè)備與其他動力設(shè)備需要分開單獨(dú)拉線，如激光設(shè)備的電纜需要與其他設(shè)備用電分開。

配電箱設(shè)計(jì)：每個配電箱在設(shè)計(jì)時(shí)除了把主要用電設(shè)備的空開計(jì)算在內(nèi)，另外還需留有一些備用空開以滿足增加設(shè)備以及維修接電。

所有設(shè)備和功能性電源的電纜均應(yīng)按最短路徑原則進(jìn)行設(shè)計(jì)，電纜和空開的計(jì)算不要太保守盡量擴(kuò)大系數(shù)。

施工：

技術(shù)夾層內(nèi)的電纜橋架的鏈接安裝需在頂板安裝前完成。（保護(hù)頂板強(qiáng)度）

技術(shù)夾層內(nèi)的主電纜的布置需在頂板安裝前完成。（保護(hù)頂板強(qiáng)度）

技術(shù)夾層內(nèi)的照明需提前施工完畢，以確保技術(shù)夾層內(nèi)其他技術(shù)工種的施工安全。

中天道成將以不斷創(chuàng)新、追求卓越的潔凈技術(shù)和用戶第一，質(zhì)量至上的服務(wù)理念和決心，為國內(nèi)外用戶提供潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境一站式整體解決方案。咨詢熱線：0512-67507365