微電子行業對傳輸敏感或腐蝕性介質的高純、潔凈管道系統一般都采用光亮燒鈍(BA)、亞電化學拋光(AC)、電化拋光(EP )產品。
光亮燒鈍(Bright Annealing)簡稱BA
在加氫或真空狀態高溫熱處理,一方面消除內部應力,另一方面在管道表面形成一層鈍化膜,以改善形態結構,減少能量水平,但不會提高表面粗糙度。
亞電化學拋光(Anodical Cleaning)簡稱AC
歐洲工廠在BA基礎上再進行一道表面處理工藝,即輕度電解拋光工藝,以盡可能地減少表層面積,加厚鈍化膜,從而增加耐腐蝕性能、改善表面的形態結構、減少能量水平。經過這種表面處理方式之后的產品雖然沒有前面的光亮,但表面質量有了很大的提高,不會產生顆粒,減少表層鐵和氧化鐵的成分。
電化拋光(Electro-Polished)簡稱EP
通過電化學拋光,可以極大地提高表面形態及結構,使表層實際面積得到最大程度的減少。表面是一層封閉的、厚厚的氧化鉻膜,能量接近合金的正常水平,同時介質數量也會降為最少。
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